圧縮空気を利用したMEMSマイクロホンの機械的強度評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-102

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Mechanical robustness evaluation method of MEMS microphone by applying compressive air

著者名: 笠井 隆(オムロン),内田 雄喜(オムロン),中野 優(オムロン),佐野 浩二(オムロン),中河 佑将(オムロン),桃谷 幸志(オムロン),奥川 晃宏(オムロン)

著者名(英語): Takashi Kasai| Yuki Uchida |Yu Nakano| Koji Sano |Yusuke Nakagawa| Koji Momotani |Akihiro Okugawa

キーワード: MEMS,マイクロホン,機械的強度,信頼性,圧縮空気

要約(日本語): MEMSマイクロホンの機械的強度の評価する手法として、顕微鏡観察下にて圧縮空気を高速で薄膜に印加しその破壊圧力からデバイスの強度を定量化する方法を構築した。等価回路によるシミュレーションによって圧縮空気がメンブレンに与える圧力を明らかにし、サンプル形態を変えることによってダイアフラム、バックプレートの強度をそれぞれ評価できることを報告する。

要約(英語): This paper reports an evaluation system using compressive air to verify mechanical robustness of MEMS microphone. While compressive air presses membrane, pressure level of compressive air increases step by step up to membrane breakage. The membrane breakage is monitored with camera. Mechanical robustness can be quantified as breakage pressure level.

PDFファイルサイズ: 848 Kバイト