TiNを用いたMEMSガスセンサ用マイクロヒータの作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-108

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of TiN micro-heater for MEMS gas sensors

著者名: 伊藤 浩(東京工業高等専門学校),新國(東京工業高等専門学校),広幸(東京工業高等専門学校)

著者名(英語): Hiroshi Ito| Hiroyuki|Nikkuni

キーワード: マイクロヒータ,TiN薄膜,反応性スパッタリング,ガスセンサ,真空アニール

要約(日本語): 本研究では、TiN薄膜のマイクロヒータへの応用を目的に、TiN薄膜の膜物性の評価と,TiNマイクロヒータを作製し、作製したヒータの特性からヒータの有効性を検討した。この結果、400℃で170mWの性能を得ることができ、最大1300℃程度まで加熱できるTiNマイクロヒータを作製できた。また、耐薬性及び放熱抑制に優れ,微小領域を効率良く加熱できるなど、将来の集積化ガスセンサ用のマイクロヒータとして有望な示した。

要約(英語): In this study, we carried out the fabrication and evaluation of the TiN thin film applied to the micro heater. It was suggested that the TiN thin-film micro heater would be applicable for an integrated thin-film gas sensor.

PDFファイルサイズ: 900 Kバイト