Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-118

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of flexible Cu-Ni thin-film thermoelectric generators

著者名: 清水 悠希(名古屋大学),溝尻 瑞枝(名古屋大学),三上 祐史(産業技術総合研究所),櫻井 淳平(名古屋大学),秦 誠一(名古屋大学)

著者名(英語): Yuki Shimizu| Mizue Mizoshiri |Masashi Mikami| Junpei Sakurai |Seiichi Hata

キーワード: 環境発電,熱電発電デバイス,フレキシブルデバイス,リソグラフィ,スパッタ成膜法

要約(日本語): Cu/Cu-Ni熱電薄膜を用いたフレキシブル発電デバイスの作製を行った.薄膜はポリイミド基板上に高周波マグネトロンスパッタ法を用いて成膜し,リフト･オフ法により形成した.作製したデバイスを64°Cで加熱したとき,デバイス上に約24°Cの温度差が生成され,開放電圧10.4mV,最大電力32 nWの発電に成功した.デバイスのフレキシブル性能を評価したところ,曲率半径1.5 mmまで湾曲させることが可能であり十分なフレキシブル性を有していた.

要約(英語): We demonstrated the fabrication of flexible Cu/Cu-Ni thin-film thermoelectric generators. When the hot side of the device was heated at 64 degrees, the open-circuit voltage and maximum power were 10.4 mV and 32 nW, respectively. The fabricated devices enabled to be bent up to a curvature radius of 1.5 mm.

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