多層PZT薄膜による圧電MEMSエナジーハーベスタの提案

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-122

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Proposal Piezoelectric MEMS Energy Harvester by Using Multilayer PZT Thin Films

著者名: 中西 亮介(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Ryosuke Nakanishi| Kensuke Kanda |Takayuki Fujita| Kazusuke Maenaka

キーワード: エナジーハーベスタ,多層PZT,櫛歯電極,圧電,MEMS

要約(日本語): 我々は多層PZT薄膜を用いた圧電MEMSエナジーハーベスタを提案する。多層化により圧電膜を厚くする効果が得られ,強度の高い設計が可能である。さらに,櫛歯状の上部・中間電極により,PZT薄膜の分極状態を改善した。有限要素解析より,このハーベスタは従来の3倍の出力電力を示すことが分かった。

要約(英語): We propose piezoelectric MEMS energy harvester by using multilayer PZT Thin Films. The harvester has interdigitated top and internal electrodes. The interdigitated internal electrodes improve the polarized situation of the PZT thin films. According to the result of finite element analysis, the reveals three times larger output power than conventional harvesters.

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