PZTの焦電効果を利用した積層型静電アクチュエータの出力評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-124

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Evaluation of a multilayer type electrostatic actuator using a pyroelectric effect of PZT

著者名: 橋本 航(岡山大学),尾﨑(岡山大学),隼人(岡山大学),神田 岳文(岡山大学)

著者名(英語): Kou Hashimoto| Hayato|Osaki |Takefumi Kanda

キーワード: 高温環境,焦電効果,静電アクチュエータ,温度依存性,逆圧電効果

要約(日本語): 本研究では,高い焦電定数を持つ強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の焦電効果を駆動源とした積層型静電アクチュエータを試作し,温度変化量を与えた際の焦電効果による出力を評価した.焦電効果により発生する静電気力と逆圧電効果の発生力は求めた理論式に示されるような温度依存性を示した.また,静電気力は逆圧電効果の発生力よりも大きく,焦電定数の温度依存性によると考えられる増加傾向を示した.

要約(英語): In this study, a multilayer type electrostatic actuator using a pyroelectric effect of a lead zirconate titanate (PZT) has been fabricated and evaluated. The pyroelectric effect of a multilayer electrostatic actuator has been evaluated. The electrostatic force and the piezoelectric force generated by the pyroelectric effect showed the temperature dependence as the theoretical formula.

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