フレキシブル基板上に実装された極薄MEMS光スキャナデバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-132

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Ultra-thin MEMS optical scanner device mounted on flexible substrate

著者名: 竹下 俊弘(産業技術総合研究所),山下 崇博(産業技術総合研究所),牧本 なつみ(産業技術総合研究所),小林 健(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Takeshita Toshihiro| Yamashita Takahiro |Makimoto Natsumi| Kobayashi Takeshi

キーワード: 光MEMS,マイクロミラー,フレキシブル,PZT,極薄デバイス

要約(日本語): 我々は複雑なMEMS構造である極薄MEMS光スキャナデバイスを、上述の実装技術を用いてフレキシブル基板上に実装を行い、極薄MEMS光スキャナデバイスのフレキシブル性の確認と、動作特性に関し調査を行った。極薄MEMS光スキャナデバイスは厚さ5.31?mと極薄であり、フレキシブル性を有する。またフレキシブル基板上での動作が確認され、10.4kHz,1Vppの印可電圧に対して、ミラー部の機械角度±3.58deg.が得られた。

要約(英語): We have developed the ultrathin MEMS mirror device. The thickness of the mirror device is 5.31 micrometre. The mirror device was fabricated by MEMS process and bonded on a flexible substrate. We confirmed that the ultrathin MEMS mirror device was able to be driven on the flexible substrate.

PDFファイルサイズ: 561 Kバイト