SiGeモノリシックコンボセンサに向けたラピッドプロトタイピング -3軸加速度センサと振動型磁気センサ-

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-136

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Accelerometers for SiGe monolithic combo sensor

著者名: 廣田 朝地(兵庫県立大学),横松 得滋(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Choji Hirota| Tokuji Yokomatsu |Kensuke Kanda| Takayuki Fujita |Kazusuke Maenaka

キーワード: SiGe,モノリシック,コンボセンサ,ラピッドプロトタイププロセス,TEOS

要約(日本語): 本稿は,CMOS集積回路作製後にセンサを作製できるSiGeコンボセンサのための電子ビーム露光装置による直接描画を用いたラピッドプロトタイププロセスを提案する。3軸加速度センサと3軸振動型磁気センサを1チップ上にモノリシック融合を実現することを目標とする。

要約(英語): This paper addresses rapid prototype process using electron beam lithography exposure for SiGe combo sensors, and these sensor devices can be fabricated directly on CMOS signal processing wafers as a post process. We propose 3D-accelerometers combined with 3D-vibratory magnetic sensors, which can be monolithically integrated in a single chip.

PDFファイルサイズ: 501 Kバイト