SU8微細機構/形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイ型触覚ディスプレイ素子形成と動作特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-142

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication and characterization of tactile display device with arrayed SU8 micro-mechanism on Shape memory alloy thick film actuator

著者名: 峯田 貴(山形大学),辻 一樹(山形大学),梁取 大(山形大学),日吉 健太(山形大学),小野 泰弘(東海理化),阿部 喜(東海理化)

著者名(英語): Takashi Mineta| Kazuki Tsuji |Hiroshi Yanatori| Kenta Hiyoshi |Yasuhiro Ono| Konomu Abe

キーワード: 触覚ディスプレイ,SMA膜,SU8,マイクロピンアレイ,動作振幅

要約(日本語): 厚膜レジストSU8のリソグラフィにより,可動マイクロピン,バイアスばね,およびキャップ層をアレイ状に一括形成し,SMA厚膜アクチュエータアレイへ接合したMEMS触覚ディスプレイ(5×5アレイ)素子を形成した。Duty比を抑制したSMAへのパルス通電加熱により,15 ~30 Hzの駆動周波数で8-10 μmの振幅が得られ,1列5ピンの動作による官能試験の結果、指先へ振動刺激を提示できることを検証した。

要約(英語): A 5x5 arrayed MEMS tactile display with SMA thick film actuator and photo-lithographed SU8 bias spring, micro-pin, cap structure was fabricated and characterized. Vibration amplitude of 8-10um was obtained at 15-30Hz with low pulse duty ratio. The device successfully provided vibratory stimulation to human finger skin.

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