パーマロイコンセントレータによる磁場勾配を用いた共振型磁気センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-146

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Resonant Magnetic Sensor using Magnetic gradient field formed by Permalloy Concentrator

著者名: 諏訪 亘(東北大学),猪股 直生(東北大学),戸田 雅也(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Wataru Suwa| Naoki Inomata |Masaya Toda| Takahito Ono

キーワード: 磁気センサ,機械振動子,パーマロイコンセントレータ,共振センサ,自励発振

要約(日本語): 本研究では非対称対向パーマロイから成る磁気コンセントレータを用いた,真新しい共振型磁気センサの提案,作製,評価を行った.作製した磁気センサの磁気分解能は自励発振条件下で5.1×10-7 Tと評価され,新しい磁気計測システムを確立した.さらに有限要素法を用いた計算結果から,本センサは機械振動子とパーマロイの形状を改善することによって磁気分解能を1.7×10-14 Tまで向上させることができる可能性が得られた.

要約(英語): We have developed a resonant magnetic sensor using asymmetric and facing Permalloy plates. The magnetic resolution of 5.1 x 10-7 T was evaluated and the resolution can be improved theoretically to 1.7 x 10-14 T by downsizing the cantilever and optimizing the shape of Permalloy concentrator.

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