低消費電力性・耐腐食性を有するフローセンサデバイスの特性改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-148

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Improvement of high corrosion resistance, and low power consumption flow sensor device

著者名: 山岡 英彦(東京都立産業技術研究センター),永田 晃基(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Hidehiko Yamaoka| Koki Nagata

キーワード: フローセンサ,低消費電力,耐腐食性,間欠駆動,ポリイミド

要約(日本語): フローセンサには,様々なガス種に対する耐腐食性及びポータブル機器での使用を想定した低消費電力性が求められる。そこで本研究では,耐腐食性の向上の為,特性の異なる2種類のポリイミドを積層構造とすることで,プロセス安定性と耐腐食性を両立した。また,低消費電力化の為,実験計画法を用いたセンサ構造の最適化を行い,間欠駆動可能な超低消費電力であるフローセンサを開発したので報告する。

要約(英語): Low power consumption and corrosion tolerance are required on flow sensors. In order to reduce power consumption, appropriate structure was determined by experimental design. It allowed for super low power consumption under the 3% duty cycle drive condition. By employing two types of polyimide film, both high process stability and corrosion tolerance were achieved.

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