円形ダイヤフラムを有するシリコン基板光導波型圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-152

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A silicon-based optical guided-wave pressure sensor with a circular diaphragm

著者名: 新國 広幸(東京工業高等専門学校),伊藤 浩(東京工業高等専門学校)

著者名(英語): Hiroyuki Nikkuni| Hiroshi Ito

キーワード: 導波光学,MEMS圧力センサ,円形ダイヤフラム,導波路,エッチストップ法

要約(日本語): 円形ダイヤフラムを有するシリコン基板光導波型圧力センサを提案し,理論解析・試作・評価を実施した。理論解析によりダイヤフラムサイズと感度・耐圧の関係を明らかにした。ダイヤフラム面積100mm2,厚さ147μmのセンサを作製し,センサ動作を実証した。ダイヤフラム面積1mm2以下の小型センサでは円形が作製できないため,エッチストップ効果を利用したプロセスの開発を試み,小型円形ダイヤフラムの作製が可能であることを示した。

要約(英語): A silicon-based guided-wave optical pressure sensor with a circular diaphragm was demonstrated. The sensitivity and the withstanding pressure dependence on diaphragm dimensions were theoretically examined. The sensor was fabricated and confirmed the operation as a pressure sensor. The proposed fabrication process using etch-stop technique was effective for the fabrication of the small circular diaphragm.

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