粒子径の大きなゼオライトを用いたガスセンシングに向けた衝撃試験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-168

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Impact Test for Gas Sensing Using Large Particle Size Zeolite

著者名: 山田 健太郎(東京大学),Julien Grand(University of Mormandie),岡本 有貴(東京大学),Reddy Ranga(東京大学),Matthieu Denoual(University of Mormandie),Sveltana Mintova(University of Mormandie),Agnes Tixier-Mita(東京大学),三田 吉郎(東京大学)

著者名(英語): Kentaro Yamada| Julien Grand |Yuki Okamoto| Reddy Ranga |Matthieu Denoual| Sveltana Mintova |Agnes Tixier-Mita| Yoshio Mita

キーワード: MEMS,DRIE,ガスセンサー,ゼオライト,衝撃試験

要約(日本語): ゼオライト埋め込みマイクロトレンチを有するMEMSカンチレバーは、高感度・高選択性ガスセンサーを実現できると期待され研究が進められている。このガスセンサーは大粒径に凝集したゼオライトを用いることでさらなる高感度化が期待できるが、このようなゼオライトは構造中から脱落するおそれがある。本研究においては、このようなゼオライトに対し結晶化したゼオライトのフィルムがある場合も含めて衝撃試験を行い、ガスセンサに利用可能であることを示した。

要約(英語): Zeolite-trench-embedded micro-cantilevers are expected to work as high-sensitive and high-selective gas sensors.Aggregated zeolite particle has the possibility to improve the sensitivity of the gas sensor.In this paper, we propose covering the embedded aggregated zeolite particle with thin crystalline zeolite films. In addition, we investigate the impact effects to the three kinds of zeolites (FAU, LTL, and MFI) with and without the thin zeolite films.

PDFファイルサイズ: 913 Kバイト