バイオマーカー検出のためのエラストマーナノ薄膜を利用したMEMS光干渉型表面応力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-174

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): An elastomer-based MEMS Fabry-Perot Interferometric surface-stress sensor for biomarker detection

著者名: 寺元 玲奈(豊橋技術科学大学),丸山 智史(豊橋技術科学大学),藤枝 俊宣(早稲田大学),佐藤 信孝(早稲田大学),武岡 真司(早稲田大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Reina Teramoto| Satoshi Maruyama |Toshinori Fujie| Nobutaka Sato |Shinji Takeoka| Kazuaki Sawada |Kazuhiro Takahashi

キーワード: ファブリペロー干渉,表面応力センサ,エラストマー,バイオマーカー,ドライ転写

要約(日本語): 我々は、可動膜にエラストマー材料のポリスチレン-ポリブタジエン-ポリスチレン(SBS)トリブロック共重合体を用いたMEMS光干渉表面応力センサを開発した。SBSナノ薄膜は低ヤング率であり、自立構造形成の際には高い接着性によりドライ転写で基板のキャビティ上に自立膜を形成することができる。反射スペクトルの測定により抗ウシ血清アルブミン抗体の溶液中でレッドシフトを観察し、分子吸着で膜が上方に変形したことを示唆した。

要約(英語): We developed a MEMS optical interferometric surface-stress sensor based on an elastomer nanosheet using a polystyrene-polybutadiene-polystyrene (SBS) triblock copolymer. A freestanding membrane can be formed above a cavity by dry transfer technique. We observed redshift in solution of anti-bovine serum albumin antibody by measurement of the reflection spectrum, which suggested that the membrane was deformed in upper direction.

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