ナノ構造を用いたQCMセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm4-PS-180

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of a QCM sensor using nanostructure

著者名: 浅井 直人(関西大学),清水 智弘(関西大学),新宮原 正三(関西大学),伊藤 健(関西大学)

著者名(英語): Naoto Asai| Tomohiro Shimizu |Shoso Shingubara| Takeshi Ito

キーワード: QCM,バイオセンサ,ナノ構造,多孔質構造,陽極酸化アルミニウム

要約(日本語): QCMセンサ上にスパッタリングによってアルミニウム薄膜を成膜し、陽極酸化することで、AAOナノ構造を有するQCMセンサを作製した。AAOナノ構造のモルフォロジーは直径50-60 nm、膜厚450 nm、ホール密度約100個/?mであった。作製したQCMセンサを用いて、抗原抗体反応の検出を検証した。

要約(英語): We demonstrated that a QCM (Quartz Crystal Microbalance) chip with the AAO (Anodic Aluminum Oxide) was effective in biosensing because of its large surface area.

PDFファイルサイズ: 636 Kバイト