Pd系金属ガラスを用いた容量型MEMS水素センサー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02am2-B-1

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Capacitive MEMS hydrogen sensor with Pd based metallic glass

著者名: 山﨑 宏明(東芝),林 裕美(東芝),増西 桂(東芝),小野 大騎(東芝),池橋 民雄(東芝)

著者名(英語): Hiroaki Yamazaki()

キーワード: 水素社会,水素センサ,MEMS,容量型,Pd系金属ガラス

要約(日本語): 本稿ではPd系金属ガラスを用いた容量型MEMS水素センサについて報告する。Pd系金属ガラスとしてPdCuSi薄膜の分析を行い、容量型MEMS水素センサに適した材料であることを確認した。更に、Pd系金属ガラスを逆T字可動電極構造を持つMEMSセンサ構造に適用し、表面マイクロマシーニングプロセスで試作した。測定した結果、室温において水素の吸収、放出に対して高速にヒステリシスなく応答する事を実証した。

要約(英語): This paper addresses a capacitive MEMS hydrogen sensor using Pd based metallic glass (MG). We apply the Pd based MG to a hydrogen sensor having inverted T-shaped electrode. The sensor was fabricated by a surface micromachining process. We show that the fabricated hydrogen sensor exhibits hysteresis free and fast response property at room temperature.

PDFファイルサイズ: 1,137 Kバイト