超音波診断用CMUTの積層薄膜構造の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02am2-B-3

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Evaluation of Thin Films Composition of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Ultrasonic Diagnoses

著者名: 青野 宇紀(日立製作所),吉村 保廣(日立製作所),町田 俊太郎(日立製作所)

著者名(英語): Takanori Aono| Yasuhiro Yoshimura |Shuntaro Machida

キーワード: 超音波探触子,CMUT,薄膜,応力,有限要素法

要約(日本語): 超音波を送受信するCMUTの薄膜構成について,解析および実験を用いて検討した。上部電極上に積層する絶縁膜(SiO2,SiN)の膜厚の調整により,犠牲層エッチング後の振動板の変形,および最終的な振動板の変形を調整できることを確認した。今回試作したCMUTを用いて,被検体を模擬した水中のスポンジの画像を取得することができた。

要約(英語): This research reports thin films composition of vibrating film on capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) for ultrasonic diagnoses. We analytically and experimantally clalified the thin film composition of CMUT.

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