ゲージファクター5,000を有する超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンのデモンストレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02am2-B-4

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): AN ULTRA-SENSITIVE SPINTRONIC STRAIN-GAUGE SENSOR WITH GAUGE FACTOR OF 5000 AND DEMONSTRATION OF A SPIN-MEMS MICROPHONE

著者名: 藤 慶彦(東芝),原 通子(東芝),東 祥弘(東芝),加治 志織(東芝),増西 桂(東芝),永田 友彦(東芝),湯澤 亜希子(東芝),大津 賢治(東芝),岡本 和晃(東芝),馬場 祥太郎(東芝),小野 富男(東芝),堀 昭男(東芝),福澤 英明(東芝)

著者名(英語): Yoshihiko Fuji| Michiko Hara |Yoshihiro Higashi| Shiori Kaji |Kei Masunishi| Tomohiko Nagata |Akiko Yuzawa| Kenji Otsu |Kazuaki Okamoto| Shotaro Baba |Tomio Ono| Akio Hori |Hideaki Fukuzawa

キーワード: 歪ゲージ,ゲージファクター,マイクロフォン,スピントロ二クス,磁歪

要約(日本語): 本報告では、磁気トンネル接合(MTJ)素子の検知磁性層に高磁歪を有するFe-B合金を用いることにより、5000を超える非常に高いゲージファクターを有するスピン歪検知素子の作成に成功した。また、スピン歪検知素子をダイアフラム上に形成したスピンMEMSマイクロフォンを試作し、入力音に対するマイクロフォン応答を評価した結果、57 dB(A)のシグナル対ノイズ比を確認することができた。

要約(英語): We report the spintronic strain-gauge sensor (Spin-SGS) based on a magnetic tunnel junction with a high gauge factor in excess of 5000. We also demonstrate a novel Spin-MEMS microphone, in which a series of Spin-SGSs are integrated onto a diaphragm. The Spin-MEMS microphone exhibits an SNR of 57 dB(A).

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