薄膜金属ガラスを用いた微小ダイアフラム構造体の張力制御法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PLN-15

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Control of tension force for micro diaphragm using thin film metallic glasses

著者名: 上嶋 祥平(名古屋大学),秦(名古屋大学),誠一(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学)

著者名(英語): Uejima Shohei| Seiichi|Hata |Junpei Sakurai

キーワード: 薄膜金属ガラス,微小薄膜構造体,応力制御,応力緩和,熱応力

要約(日本語): 更なるMEMSの小型化・高機能化のため，微小薄膜構造体の作製プロセスの確立が求められる．過冷却液体域で内部応力を緩和可能な薄膜金属ガラス(Ru67Zr25Al8 (at%))に着目し，スパッタ時のAr圧調整と熱処理により，平坦なダイアフラムの作製を目的とした．Ar圧0.8Paの圧縮応力を持つサンプルに，330℃以上で熱処理により引張応力を与えた結果，平坦なダイアフラムの形成に成功した．

要約(英語): The fabrication process of the micro thin film structure is required for further miniaturization and high functionality. We focused on thin film metallic glasses (TFMGs) that can relieve internal stress in supercooled liquid region. In this study, we aimed to fabricate flat diagraph microstructure using TFMGs with stress control by Ar pressure adjustment during sputtering and stress relaxation by annealing. Finally, we succeeded in fabricating flat diagraph microstructure by stress relaxation of initial compressive stress during sputtering (Ar pressure of 0.8 Pa) and applying tensile stress by annealing more than 330℃.

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