3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PLN-17

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A Study of a Single Au Proof Mass and Segmented Electrodes for Tri-axis MEMS Accelerometer

著者名: 乙部 翔太(東京工業大学),高安 基大(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),佐布 晃昭(NTTアドバンステクノロジ),伊藤 浩之(東京工業大学),道正 志郎(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Shota Otobe| Motohiro Takayasu |Daisuke Yamane| Toshifumi Konishi |Teruaki Safu| Hiroyuki Ito |Shiro Dosho| Noboru Ishihara |Katsuyuki Machida| Kazuya Masu

キーワード: 3軸,MEMS,加速度センサ,積層メタル技術,単一錘

要約(日本語): 本研究では,積層メタル技術による単一錘3軸MEMS加速度センサの設計容易化のため,新たな電極構造を提案した。提案電極構造ではMEMSデバイス構造が単純になり、設計が容易となる。試作評価結果により3軸動作を確認し、BN評価値が300 nG/√Hz以下であることを確認した。以上より,本提案デバイス構造が単一錘3軸MEMS加速度センサに有用であることを確認した。

要約(英語): This paper describes the single-proof-mass tri-axis segmented electrode MEMS accelerometer fabricated by multi-layer metal technology. The segmented electrodes simplify the MEMS device structure, and thereby achieve the ease of device design. Evaluation result of fabricated device indicates that this device structure would be useful for high-resolution MEMS accelerometers.

PDFファイルサイズ: 396 Kバイト