左右対称エレクトレットくし歯電極による広帯域振動エナジーハーベスタ応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-205

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A Wide-band Vibrational Energy Harvester Using Symmetrical Comb-Drives Coupled with Heavily Charged Electret

著者名: 三屋 裕幸(鷺宮製作所),芦澤 久幸(鷺宮製作所),穴井 大輔(鷺宮製作所),橋口 原(静岡大学),本間 浩章(東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Hiroyuki Mitsuya| Hisayuki Ashizawa |Daisuke Anai| Gen Hashiguchi |Hiroaki Honma| Hiroyuki Fujita |Hiroshi Toshiyoshi

キーワード: MEMS,エレクトレット,エナジーハーベスタ,左右対称くし歯電極,広帯域

要約(日本語): MEMS型振動エナジーハーベスタにおいて,左右対称のくし歯電極構造を用いて静電力を完全に打ち消し,エレクトレット帯電電圧を高くしたり電極間が狭くなったりしても静電力による可動部の拘束がなく,従来に比べて大きな発電量が期待できる構造を考案した。また,エレクトレット帯電電圧をさらに大きくすることで,複雑な機構を用いずにエネルギーロスも少ない広帯域振動エナジーハーベスタが実現可能性を示した。

要約(英語): An energy harvester has been developed to efficiently earn energy from both cyclic and impulse vibrations by using a symmetric pair of comb-electrodes that are heavily doped with potassium-ions to form electrets. By equalizing the electro- mechanical forces on the opposing comb-drives, energy conversion efficiency is enhanced for both impulses and broad-frequency harmonic vibrations

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