磁歪材料を用いた共振型磁気センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-209

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Resonant Magnetic Sensor using a Magnetostrictive Material

著者名: 江面 大河(東北大学),猪股(東北大学),直生(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Taiga Ezura| Naoki|Inomata |Takahito Ono

キーワード: 磁歪材料,磁気センサ,共振型センサ,機械振動子,MEMS

要約(日本語): 本研究では、外部磁場に対して大きな歪みを生じる磁歪材料を用いた共振型磁気センサを設計・作製し、評価した.磁場によって生じる磁歪材料のひずみにより機械振動子に荷重を加え、その共振周波数の変化から磁場を検出する.微細加工技術を用いて作製したSi振動子に,切削加工で切り出した磁歪材料をアセンブリで組み込んで作製した.磁場を掃引して共振周波数を測定したところ、磁場により共振周波数が変化することを確認した.

要約(英語): In this research, we developed and evaluated a novel resonant magnetic mictrosensor using a magnetostrictive material. This sensor detects a magnetic field based on the resonance frequency change resulted from the load caused by a mangnetostrictive material. The magnetic sensitivity of the microfabricated sensor was 0.30x10^6 Hz/T.

PDFファイルサイズ: 1,019 Kバイト