減圧ドライ転写技術を用いた真空キャビティ構造をもつグラフェン共振器の製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-210

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A graphene resonator with a vacuum sealed cavity developed by low-pressure dry transfer technique

著者名: 石田 隼斗(豊橋技術科学大学),岩田 達哉(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),髙橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Hayato Ishida| Tatsuya Iwata |Kazuaki Sawada| Kazuhiro Takahashi

キーワード: グラフェン,ドライ転写,NEMS,共振器,真空キャビティ

要約(日本語): 本研究では、減圧ドライ転写技術により形成したサスペンデットグラフェンによりキャビティ内が真空封止されたグラフェン共振器を作製することに成功した。ガス不透過性をもつグラフェンによって、転写時の圧力がキャビティ内に保存され、気圧差によってグラフェン内にひずみが印加されていることを示した。さらに、直径30-45umのグラフェンドラムの共振周波数は0.74-1.36 MHzを示し、Q値は最大で300程度が得られ共振器としての動作を実証した。

要約(英語): We developed cavity-sealed single-layer graphene drum resonator by using low-pressure dry transfer techniques. A pressure difference between vacuum cavity and outside air gave tensile strain of 0.05% to the suspended graphene. We demonstrated fundamental resonance frequency ranges of 0.74-1.36 MHz with a quality factor of about 300 with 30-45 um in diameter.

PDFファイルサイズ: 659 Kバイト