レーザ加工とインプリント加工の複合プロセスによる セラミック3次元マイクロ流路の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-213

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Development of ceramic three-dimensional micro channel by combined process of laser processing and imprinting

著者名: 徳丸 和樹(九州大学),ハント 載紋(九州大学),津守 不二夫(九州大学),工藤 健太郎(九州大学),品川 一成(九州大学)

著者名(英語): Kazuki Tokumaru| Simon Hunt |Fujio Tsumori| Kentaro Kudo |Kazunari Shinagawa

キーワード: セラミック,MEMS,?TAS,インプリント,レーザ加工

要約(日本語): 本研究では,3次元構造のセラミックマイクロ流路を作製する新しい方法を提案する.セラミックスは,樹脂に比べて耐熱性,耐食性,耐薬品性,強度などに優れているため, 従来の樹脂製流路では使用できない高温または過酷な環境で使用することができる.本研究で提案する微小流路成型法は,シンプルであるため応用が利き,高効率の熱交換器,固体酸化物燃料電池の電解質,燃料改質器などのような製品への適用が可能である.

要約(英語): In this research, we propose a new method for fabricating ceramic micro channels. Ceramic are superior to resins in heat resistance, chemical resistance, etc., so they can be used in harsh environments, and it can be applied to products such as solid oxide fuel cell, fuel reformer and the like.

PDFファイルサイズ: 514 Kバイト