多層化圧電膜によるMEMS触覚デバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-217

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): MEMS Tactile Device by Using Multilayered Piezoelectric Thin Film

著者名: 遠山 蒼(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),大久保 昂(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): So Toyama| Kensuke Kanda |Takashi Okubo| Takayuki Fujita |Kazusuke Maenaka

キーワード: 圧電MEMS,PZT,触覚デバイス,ハプティクス,多層

要約(日本語): 本稿では駆動電圧の非常に低い圧電MEMS触覚デバイスについて報告する。 多層PZT薄膜を先行研究にて作製したヒトが感知可能な大変位を生み出せる触覚デバイスに組み込み、SU-8と2層PZTの積層構造を作製し評価した。 2層PZT構造によって触覚デバイスの変位は2倍になり、多層PZT構造を用いて駆動電圧を低減できることを確認した。

要約(英語): This paper addresses piezo-MEMS tactile device with very low driving voltage. Based on the previous study, multilayer PZT thin films are incorporated into the tactile device. Lamination structure of SU-8 and two PZT layers are fabricated and evaluated. The two PZT layers doubled the displacement of the tactile device. The results prove that the driving voltage can be reduced by using multilayer PZT structures.

PDFファイルサイズ: 617 Kバイト