MEMS圧力センサを用いた液滴粘度計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-222

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Droplet type viscometer using a MEMS pressure sensor

著者名: 高橋 英俊(東京大学),グェン(東京大学),タンヴィン(東京大学),下山 勲(東京大学)

著者名(英語): Hidetoshi Takahashi| Thanh-Vinh|Nguyen |Isao Shimoyama

キーワード: 液滴,粘度計,圧力センサ,ピエゾ抵抗型センサ,振動計測

要約(日本語): 本研究では、微小な液滴の振動を計測することで、その振動特性から液体の粘度を算出するという新たな検出原理を利用した粘度センサを提案する。提案する粘度センサは、MEMS圧力センサと超撥水膜で覆われたチャンバからなり、液滴が膜上で振動すると、チャンバ内の圧力が振動に応じて変化する。圧力センサによって、この圧力変化を検知し、液滴の振動を計測する。

要約(英語): We report on a viscometer utilizing the vibration of small droplets. The viscometer consists of a differential pressure sensor and a chamber with a superoleophobic membrane. The vibration of a droplet on the membrane causes the pressure change in the chamber. Since the damping of the vibration depends on the viscosity, the viscosity of the droplet can be measured from the pressure changes.

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