極薄シリコンピエゾ抵抗素子を用いたフレキシブルな圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-223

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Flexible pressure sensor based on ultra-thin Si piezo-resistive membrane

著者名: 竹井 裕介(産業技術総合研究所),後藤 慎太郎(東京大学),高松 誠一(東京大学),伊藤 寿浩(東京大学),小林 健(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yusuke Takei| Shintaro Goto |Seiich Takamatsu| Toshihiro Itoh |Takeshi Kobayashi

キーワード: 圧力センサ,歪みセンサ,極薄シリコン,ピエゾ抵抗,フレキシブル

要約(日本語): 本研究では、極薄のシリコンピエゾ抵抗素子をシリコンゴム上に転写して用いることで、シリコンの高感度なピエゾ抵抗特性とシリコンゴムの柔軟性を併せ持つ圧力センサを提案し製作した。製作したセンサデバイスは、フレキシブルな素材のみで構成されており、曲げても配線やセンサ素子には破断・断線が起こらないことを確認した。

要約(英語): In this research, we fabricated a pressure sensor that have both advantages of "high sensitivity of piezo-resistive silicon based pressure sensors" and "flexibility of silicone rubber-based sensors".

PDFファイルサイズ: 416 Kバイト