ホール素子による微小磁場計測の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-226

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Micromagnetic field measurement using Hall element

著者名: 眞砂 卓史(福岡大学),笠原 健司(福岡大学),西村 和浩(旭化成エレクトロニクス),柴崎 一郎(野口研究所)

著者名(英語): Takashi Manago| Kenji Kasahara |Kazuhiro Nishimura| Ichiro Shibasaki

キーワード: ホール素子,InSb,微小磁場計測,ノイズ,パワースペクトル

要約(日本語): 磁気増幅構造付き高感度InSb薄膜ホール素子について,微小磁場検出における磁界検出特性,ノイズのパワースペクトルついての検討を行った.磁界検出の感度においては,1 uTの磁束密度の磁界を精度よく測定することができ,その最大揺らぎは±250 nT,揺らぎの標準偏差は130 nT程度であることが分かった.また,ノイズスペクトル測定では広い周波数範囲で1/fノイズが観測され,そのパワースペクトル密度は,入力電流に比例していることが分かった.

要約(英語): Magnetic sensor characteristics of InSb Hall element with a ferrite sandwich structure were investigated. This sensor can accurately measure a magnetic field of the order of 1 uT and the standard deviation of the measured magnetic field is about 130 nT. Fluctuation of the offset voltage and noise power spectrum was measured and 1/f noise was observed up to 10 kHz for applied current of 8 mA. It was also found that the noise power spectrum density was proportional to input current.

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