積層セラミック技術を用いたガスセンサの要素技術開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-228

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Development of the gas sensor using the laminated ceramic.

著者名: 小宮 一毅(東京都立産業技術研究センター),山岡(東京都立産業技術研究センター),英彦(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Kazuki Komiya| Hidehiko|Yamaoka

キーワード: ガスセンサ,熱伝導式,積層セラミックス,断熱構造,高信頼性

要約(日本語): 本研究では,積層セラミックス技術を応用した長期安定性、生産性に優れたガスセンサを提案し,その消費電力と断熱性を伝熱数値解析で評価した。ガスセンサの検出方法を伝熱抵抗式とし,ヒータの熱を断熱可能な実装とした。その結果、製造時の体積バラツキを15 %以下に管理可能であり、1vol%のブタンガスを消費電力116 mWで検出できた。

要約(英語): We proposed a new type gas sensor based on a multilayer ceramics technique. It has high reliability and productivity. The performances of the power consumption and the heat characteristics are confirmed using a numerical heat transfer analysis. As a result, the volume deviation is controlled by less than 15%, the 1% vol. butane is detected with the power consumption of 116 mW.

PDFファイルサイズ: 609 Kバイト