イオン液体液滴の表面張力波を用いたガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-229

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): A gas sensor by using capillary waves on the ionic liquid droplet

著者名: 齋藤 宏(東京大学),Thanh-Vinh(東京大学),Nguyen(東京大学),下山 勲(東京大学)

著者名(英語): Hiroshi Saito| Thanh-Vinh|Nguyen |Isao Shimoyama

キーワード: ガスセンサ,イオン液体,表面張力波,ピエゾ抵抗,MEMS

要約(日本語): イオン液体のガス吸着による表面張力の変化による表面張力波の共振周波数変化でガスを測定するガスセンサを作製した。表面張力波はSi基板上のピエゾ抵抗カンチレバーの上にイオン液体で液滴を形成し、加振動機で振動させたときのピエゾ抵抗変化を用いて検出した。作製したガスセンサでアセトンガスのプルームを測定した。60秒以下の良好な時定数でプルームを検出することができた。

要約(英語): This paper addresses a gas sensor using the resonant frequency shift of capillary waves on the ionic liquid droplet due to the surface tension change by gas absorption. The resonant frequency is measured by the piezo resistive cantilever under the droplet which is vibrated. The plume of acetone gas was detected by this sensor.

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