非標識バイオセンシングに向けた高い波長選択性を持つ MEMS光干渉型表面応力センサの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 02pm1-PS-239

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Fabrication of MEMS optical interferometric surface stress sensor with high wavelength selectivity for label-free biosensing

著者名: 高橋 利昌(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),三澤 宣雄(神奈川科学技術アカデミー),瀧 美樹(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学／JST CREST),高橋 一浩(豊橋技術科学大学／JST さきがけ)

著者名(英語): Toshiaki Takahashi| Takeshi Hizawa |Nobuo Misawa| Miki Taki |Kazuaki Sawada| Kazuhiro Takahashi

キーワード: 光干渉型表面応力センサ,MEMS,非標識バイオセンサ,波長選択性,抗原抗体反応

要約(日本語): 本研究では,光干渉型表面応力センサの最小検出限界向上に向け、膜厚50 nmのAuハーフミラーを光干渉計へ一体化することで、ミラーの無い従来構造と比較して6.6倍の波長選択性を実現することに成功した。また、製作した光干渉計上でBSA抗原抗体反応に起因する反射波長シフトを測定し、BSA抗原を含まない液中での可動膜変形量と比較して15分間で7.2倍の変形量が得られた。これらの結果より、標的となる抗原分子を選択的に検出可能であることが示された。

要約(英語): For improving the limit of detection of the optical interferometric biosensor, by integrating 50-nm-thick Au half-mirrors, wavelength selectivity of the interferometer has improved to be 6.6 times. Also, by measuring reflection spectrum shift due to the BSA antigen-antibody reaction on the interferometer, the deformation amount of 7.2 times was successfully obtained at 15 minutes as compared with the deformed amount of the movable membrane in a solution without the BSA antigen.

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