プラズマ可変キャパシタの静電容量値およびQ値に関する理論値と実測値の比較

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI21025,EPP21025,HV21025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 高電圧合同研究会

発行日: 2021/01/19

タイトル(英語): Comparison of Theoretical and Experimental Results on the Capacitance and Quality Factor of a Plasma Variable Capacitor

著者名: 西岡 宗(三菱電機),山浦 真悟(三菱電機),内藤 皓貴(三菱電機),西本　 研悟(三菱電機),西岡 泰弘(三菱電機)

著者名(英語): Shu Nishioka(Mitsubishi Electric Corporation),Shingo Yamaura(Mitsubishi Electric Corporation),Teruki Naito(Mitsubishi Electric Corporation),Kengo Nishimoto(Mitsubishi Electric Corporation),Yasuhiro Nishioka(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: 可変キャパシタ|プラズマ|Ｑ値|等価回路|Variable Capacitor|Plasma|Quality Factor|Equivalent Circuit

要約(日本語): 高耐電力性と高速な応答速度を兼備するキャパシタとして、プラズマ可変キャパシタが報告されている。筆者らはこれまで、等価回路モデルによる理論検討に基づき良好なQ値が得られる条件を検討してきた。本報告の目的は、実測値との比較による上記等価回路モデルの定量的な妥当性検証である。シースを考慮した等価回路モデルは、測定で得られたQ値と静電容量値の関係を定量的によく再現することを確認した。

要約(英語): Recently, a plasma variable capacitor has been investigated as a good candidate for fast tuning with high power handling capability. The purpose of the present report is the quantitative validation for the equivalent circuit model of the plasma variable capacitor. It is shown that the results by equivalent circuit model considering the realistic sheath are in quantitative agreement with the measurements.

本誌: 2021年1月23日誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会

本誌掲載ページ: 37-41 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 628 Kバイト