細い金属管内面でのマイクロ波励起高密度プラズマ生成のためのマイクロ波導入部構造の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI21027,EPP21027,HV21027

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料/【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 高電圧合同研究会

発行日: 2021/01/19

タイトル(英語): Investigation of microwave launcher structure employed for microwave-excited high-density plasma generation inside narrow metal tube

著者名: 清藤 進(岐阜大学),上坂 裕之(岐阜大学),古木 辰也(岐阜大学)

著者名(英語): Shin Seido(Gifu University),Hiroyuki Kousaka(Gifu University),Tatuya Furuki(Gifu University)

キーワード: 高密度プラズマ|マイクロ波|細い金属管|数値シミュレーション|表面波プラズマ|マイクロ波導入部構造| High Density Plasma|Microwave|Narrow Metal Tube|Numerical Simulation|Surface Wave Plasma|Microwave Launcher Structure

要約(日本語): 我々は金属製の細穴形状内面におけるプラズマ生成法として，バイアス電圧印加面でのマイクロ波の表面波伝搬を利用したMVP法が有効であることを実証した．本技術ではマイクロ波電磁界の分布とプラズマ密度の分布が相互に強く影響する．そこで，数値解析を用いて細穴内面のマイクロ波伝搬とプラズマ生成を可視化し，マイクロ波導入部の形状が生成されるプラズマ分布に与える影響について検討した．

要約(英語): MVP method is effective for plasma generation inside a narrow metal tube. Therefore, we visualized the microwave propagation and plasma generation inside a narrow metal tube by using numerical simulation, and investigated the effect of microwave launcher shape on plasma distribution generated in the tube.

本誌: 2021年1月23日誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会

本誌掲載ページ: 49-54 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 674 Kバイト