電気測定可能な静電ねじり振動型非冷却赤外線センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21001,CHS21001,BMS21001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2021/02/26

タイトル(英語): Uncooled infrared sensor using electrostatic torsional resonator enabling electrical measurement

著者名: 畠垣 知弥(豊田工業大学),熊谷 慎也(名城大学),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Tomoya Hatagaki(Toyota Technological Institute),Shinya Kumagai(Meijo University),Minoru Sasaki(Toyota Technological Institute)

キーワード: 赤外線センサ|人・環境計測|静電駆動ねじり振動子|共振周波数変化|電気測定|小型化|infrared sensor|human and environment monitoring|electrostatic torsional resonator|shift of resonant frequency|electrical measurement|compact sensor

要約(日本語): 消費電力が少ない赤外線センサが実現できれば、IoTセンサノードとして人・環境計測に魅力的である。消費電力が僅かな静電駆動ねじり振動子の共振周波数変化を利用する赤外線センサを報告してきた。静的な熱たわみが、ねじり振動の剛性を大きく変化させ、温度変化に対する共振周波数の変化が大きいことが特徴である。但し検証は、小型化に向かない光学式の計測方法であった。この問題を解決する方法を確認したので報告する。

要約(英語): The power-saving infrared sensor is attractive for detecting human and environment. A new infrared sensor is fabricated using the electrostatic torsional resonator enabling the electrical measurement. Compared to the previous experiments using the laser Doppler measurement, the possibility for the compact sensor is confirmed.

本誌: 2021年3月1日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 1-2 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 498 Kバイト