微分位相コントラストSTEMによる材料・デバイス局所電磁場解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EDD21024

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会

発行日: 2021/02/28

タイトル(英語): Direct electromagnetic field imaging of materials and devices by DPC STEM

著者名: 柴田 直哉(東京大学)

著者名(英語): Naoya Shibata(The University of Tokyo)

キーワード: 走査型透過電子顕微鏡|電磁場|界面|Scanning transmission electron microscopy|Electromagnetic field|interface

要約(日本語): 本講演では, 多分割STEM検出器を用いた微分位相コントラスト(DPC) STEM法の結像原理を説明するとともに, その最新の応用事例について, 材料界面研究への応用展開を中心に紹介する. また, 現在開発中の原子分解能磁場フリー電子顕微鏡について, その可能性やデバイス解析への応用に関して, 将来展望を議論する.

要約(英語): In this talk, basic theory of differential phase contrast (DPC) scanning transmission electron microscopy will be reviewed. Also, several application results for material and device characterization will be introduced.

本誌: 2021年3月3日電子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 690 Kバイト