FePtナノ微粒子作製プロセスへの基板表面改質導入によるL10型規則合金相生成率の向上検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2021/03/02

タイトル(英語): Improvemant of L10- orderd phase formation rate with surface modification of substrate in fabrication process of FePt nano particles

著者名: 小松田 恭祐(日本大学),吉川 大貴(日本大学),塚本 新(日本大学)

著者名(英語): Kyousuke Komatsuda(Nihon University),Hiroki Yoshikawa(Nihon University),Arata Tsukamoto(Nihon University)

キーワード: Ｌ１０－　ＦｅＰｔ|Ｆｅ薄膜|界面|表面改質|磁気特性|プラズマアッシング|L10- FePt|Fe thin film|interface|surface modification|magnetic property|plasma ashing

要約(日本語): 熱酸化Si基板上に成膜されたFe/Pt二層膜に対して，急速昇降温熱処理を施すことでL10規則合金化されたFePtナノ磁性微粒子の作製に取り組んできた．本作製プロセスにおいて，基板と成膜原料層の界面状態を改質することで，その後に形成されるFePt合金生成量の向上を確認した．また，要因究明の一つとして原料Fe薄膜が基板界面付近において磁気モーメント量が著しく減少した領域を生じていることを明らかにした．

要約(英語): We have been studying on the fabrication process of L10- FePt grains which formed from Fe/Pt bilayer films on thermally oxidized Si substrates by rapid thermal annealing and rapid cooling process. In this process, the formation of FePt alloy was improved by modifying the interface between the substrate and the source layer. And it was clarified that Fe value of the magnetic moment was remarkably decreased near the interface between Fe and substrate.

本誌: 2021年3月5日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 13-18 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,602 Kバイト