ベイズ最適化を用いた光MOD法によるBi置換希土類鉄ガーネットの作製条件の最適化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21005

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2021/03/02

タイトル(英語): Optimization of preparation process of Bi-substituted magnetic garnet films by means of an excimer-laser assisted metal organic deposition process

著者名: 藤田 拓実(長岡技術科学大学),相場 遥佳(長岡技術科学大学),西川 雅美(長岡技術科学大学),野中 尋史(長岡技術科学大学),河原 正美(高純度化学研究所),中嶋 智彦(産業技術総合研究所),土屋 哲男(産業技術総合研究所),石橋 隆幸(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Takumi Fujita(Nagaoka University of Technology),Haruka Aiba(Nagaoka University of Technology),Masami Nishikawa(Nagaoka University of Technology),Hirofumi Nonaka(Nagaoka University of Technology),Masami Kawahara(Kojundo Chemical Laboratory),Tomohiko Nakaji

キーワード: 光ＭＯＤ|ビスマス置換希土類鉄ガーネット|ベイズ最適化|磁気光学効果|laser-assisted MOD|Bi-substituted rare-earth iron garnet|Bayesian optimization|magneto-optical effect

要約(日本語): Bi置換希土類鉄ガーネットの製膜プロセスにおける熱処理温度を低減することで、様々な材料の上への製膜が可能となる。そこで、エキシマレーザーを連続的に照射することで前駆体膜を結晶化させる光MOD法を用いた。しかし、作製パラメーターが多く、製膜に最適な条件を求めるのは容易ではない。そこで、ベイズ最適化を用いた探索を行い、最適な作製パラーメーターを得た。

要約(英語): Reducing the annealing temperature in the film formation process of Bi-substituted rare-earth iron garnets makes it possible to form films on a various materials. Therefore, we used the Excimer Laser Assisted MOD method, in which the precursor film is crystallized by successive excimer laser irradiation. However, there are many fabrication parameters, and it is not easy to find the optimal conditions for film formation. Therefore, a search using Bayesian optimization was performed to obtain the optimal fabrication parameters.

本誌: 2021年3月5日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 19-23 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,113 Kバイト