小型デバイス応用を鑑みた厚膜磁石の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21045

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2021/03/23

タイトル(英語): Thick-film magnets applied to miniaturized devices

著者名: 中野 正基(長崎大学)

著者名(英語): MASAKI NAKANO(Nagasaki University)

キーワード: 厚膜磁石|ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法|（Ｎｄ　ｏｒ　Ｐｒ）－Ｆｅ－Ｂ系磁石|小型デバイス|ＭＥＭＳ|thick-film magnets|PLD(Pulsed Laser Deposition) method|(Nd or Pr)-Fe-B magnet|miniaturized device|MEMS

要約(日本語): 本発表では，他研究者により報告されている最近の永久磁石膜の開発動向を報告すると共に，我々の研究室で取り組んでいる小型デバイス応用を目指した厚膜磁石の開発に関して紹介する。

要約(英語): This contribution reports on the recent development trends of permanent magnet films reported by other researchers. Introduction on the development of thick-film magnets applied to miniaturized devices in our laboratory.

本誌: 2021年3月26日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 11-15 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,541 Kバイト