位相グレーティングと空間周波数フィルタリングを用いた超高精度ビー ム整形

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD21011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2021/03/26

タイトル(英語): Ultra-high precision beam shaping using phase gratings and spatial frequency filtering

著者名: 平川 裕人(大阪大学),森塚 翼(大阪大学),小坂 悠起(大阪大学),椿本 孝治(大阪大学),白神 宏之(大阪大学),中田 芳樹(大阪大学)

著者名(英語): Yuto Hirakawa(Osaka University),Tsubasa Morizuka(Osaka University),Yuki Kosaka(Osaka University),Koji Tsubakimoto(Osaka University),Hiroyuki Shiraga(Osaka University),Yoshiki Nakata(Osaka University)

キーワード: ビーム整形|空間光位相変調器|位相グレーティング|空間周波数　フィルタリング|矩形フラットトップビーム|六角形フラットトップビーム| beam shaping|spatial light modulator|phase grating|spatial frequency filtering|square flattop beam|polygonal flattop beam

要約(日本語): レーザーの干渉パターン加工法やレーザーアニーリング、皮膚治療などでは、フルエンス分布が均一なビームが必要とされている。我々は空間光位相変調器及び4f光学系を用いたビーム整形法において、空間周波数フィルタリングを最適化する事で整形精度を格段に向上させる事に成功した。本発表では、マルチショットを用いた大面積加工時に有効な、矩形及び六角形フラットトップビームを形成した結果を報告する。

要約(英語): Uniform fluence distribution is necessary in interference laser processing and laser annealing, skin therapy etc.. In the beam shaping method using a phase only spatial light modulator and a 4f optical system, we have succeeded in improving the shaping accuracy by optimizing the spatial frequency filtering. In this presentation, we report the results of beam shaping to square and hexagonal flattop beams, which are effective for large-area processing using multi-shot.

本誌: 2021年3月29日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 7-10 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,400 Kバイト