フレキシブル材料のフェムト秒レーザ炭化と黒鉛化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD21013

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2021/03/26

タイトル(英語): Femtosecond laser-induced carbonization and graphitization of flexible materials

著者名: 林 秀一郎(慶應義塾大学),寺川 光洋(慶應義塾大学)

著者名(英語): Shuichiro Hayashi(Keio University Graduate School ),Mitsuhiro Terakawa(Keio University )

キーワード: フェムト秒レーザ|レーザ改質|レーザ加工|フレキシブルデバイス|ポリマー|センサ|Femtosecond Laser|Laser Modification|Laser Material Processing|Flexible Devices|Polymer|Sensors

要約(日本語): ポリジメチルシロキサン（PDMS）の表面にフェムト秒レーザパルスを照射することで高い導電性の微細構造を直接描画した。作製構造はナノ寸法のシリコンカーバイド結晶と多層の黒鉛質炭素により構成されていることを明らかにした。さらにデフォーカス法により作製した構造を用いて着用型の小型心拍センサーを作製し、同手法により作製した構造のフレキシブルデバイスへの有用性を示した。

要約(英語): The direct writing of highly conductive microstructures onto the surface of polydimethylsiloxane (PDMS) was demonstrated by irradiating femtosecond-laser pulses. It was revealed that the fabricated structures were composed of silicon carbide nanocrystals and multilayered graphitic carbon. Furthermore, a wearable and miniature heartrate monitor was fabricated using the structures directly written with a devised defocus-method, indicating the potential of the structures fabricated with the presented method for flexible device applications.

本誌: 2021年3月29日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 17-22 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,256 Kバイト