ArFレーザー照射によるシリコーンゴム表面での微細隆起構造形成におけるサブ秒パルス間隔の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD21014

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2021/03/26

タイトル(英語): The effect of sub-second pulse intervals of VUV laser irradiation on the micro-swelling structures formation on silicone rubber surfaces

著者名: 吉田 剛(防衛大学校),大越 昌幸(防衛大学校)

著者名(英語): Tsuyoshi Yoshida(National defense academy),Masayuki Okoshi(National defense academy)

キーワード: 真空紫外レーザー|表面改質|微細構造|シリコーン樹脂|VUV laser|Surface modification|Micro structure|Silicone

要約(日本語): これまで本研究室では、シリカ微小球を単層整列したシリコーンゴム表面においてArFレーザー照射による周期的微細隆起構造の形成について報告してきた。本研究では、様々なパルス繰り返し周波数における微細隆起構造の形成実験により、隆起構造の高さが数百ミリ秒程度のパルス間隔により制御されることを示す。さらに、隆起構造の成長過程を様々なレーザー照射条件で調べ、その結果をもとに隆起構造の成長メカニズムについて議論する。

要約(英語): Recently, we have reported the formation of periodic micro-swelling structures on silicone rubber surfaces by ArF laser irradiation. In this presentation, a negative correlation between the height of structures and pulse repetition rate is reported, and the growing mechanism of swelling structures is discussed based on the growing rate of swelling structures under various laser irradiation condition.

本誌: 2021年3月29日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 23-26 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,580 Kバイト