フェムト秒レーザ還元焼結を利用した高純度Cuパターニングとその表面酸化処理特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD21015

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2021/03/26

タイトル(英語): Pure Cu patterns fabricated using femtosecond laser reductive sintering of CuO nanoparticles and their surface treatment

著者名: 溝尻 瑞枝(長岡技術科学大学),吉冨 恭平(長岡技術科学大学),中村 奨(長岡工業高等専門学校)

著者名(英語): Mizue Mizoshiri(Nagaoka University of Technology),Kyohei Yosidomi(Nagaoka University of Technology),Susumu Nakamura(National Institute of Technology, Nagaoka Colledge)

キーワード: フェムト秒レーザ|還元焼結|Ｃｕパターニング|ＣｕＯナノ粒子|表面酸化処理|femtosecond laser|reductive sintering|Cu patterning|CuO nanoparticles|surface oxidation treatment

要約(日本語): フェムト秒レーザ還元焼結を利用した高純度Cuパターンの描画とその表面酸化処理特性の評価を行った．N₂やArガスフロー雰囲気下で描画を行ったところ，結晶構造解析において大気中描画では見られた酸化物のピークはほとんど確認されず，再酸化の抑制を実現した．更に，グリーンナノ秒レーザを用いた大気中表面処理により，高純度Cuパターン表面層の選択的な酸化に成功した．当日は，センサ応用の可能性についても報告する．

要約(英語): Pure Cu patterns were fabricated using femtosecond laser reductive sintering of CuO nanoparticles. Subsequently, the surface of the patterns was oxidized by the nanosecond laser pulse treatment in the air. There were no significant oxidation peaks in the x-ray diffraction spectra of the patterns fabricated under N₂ and Ar gas flows. In addition, the surface treatment of the Cu patterns was carried out by irradiating green nanosecond laser pulses in the air. Selective fabrication of pure Cu patterns with surface oxidation was successfully achieved. This direct-writing technique is useful for fabricating various sensors.

本誌: 2021年3月29日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 27-29 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,701 Kバイト