N2ガスを導入したレーストラック型Ar誘導熱プラズマにおける基板上空間でのN2解離度の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP21046

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2021/05/17

タイトル(英語): Dissociation Degree of N2 in a Space above Substrate in Racetrack Type Ar Induction Thermal Plasma with N2 Gas

著者名: 原 弘也(金沢大学大学院),杉山 祐樹(金沢大学大学院),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(株式会社シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(株式会社シー・ヴィ・リサーチ)

著者名(英語): Hiroya Hara(Kanazawa university graduate school),Yuki Sugiyama(Kanazawa university graduate school),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiro

キーワード: レーストラック型|誘導熱プラズマ|表面改質|回転温度|振動温度|窒素分子解離度|Racetrack type|Induction thermal plasma|Surface modification|Rotational temperature|Vibrational temperature|Dissociation degree of N2

要約(日本語): 本報告は，レーストラック型Ar誘導熱プラズマに対し，N2ガスを導入した場合の基板上空間におけるN2+回転・振動温度およびN2解離度を検討したものである。筆者らは熱プラズマによる大面積表面改質を目的としてレーストラック型誘導熱プラズマ装置を独自開発している。この装置を用いて基板上空間にAr/N2誘導熱プラズマを安定維持し，さらに基板上Ar/N2熱プラズマの分光学的解析を行った結果を報告する。

要約(英語): The racetrack type of inductively coupled thermal plasma (Racetrack-ICTP) has been developed by the authors for the purpose of large area rapid surface modification. For large area processing, it is necessary to generate a uniform plasma on the substrate. This report describes N2+ rotational temperature, vibrational temperature and dissociation degree of N2 in a space above substrate estimated by spectroscopic observation for Ar/N2 Racetrack-ICTP.

本誌: 2021年5月20日-2021年5月21日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 71-76 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,430 Kバイト