磁場閉じ込めホローカソード大電力パルス放電特性のガス種依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP21050

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2021/05/17

タイトル(英語): Gas Species Dependence of Characteristics of Magnetic Field Confined Hollow Cathode High-Power Pulsed Discharge

著者名: 佐藤 太進(岩手大学),阿部 星輝(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学)

著者名(英語): Taishin Sato(Iwate University),Shoki Abe(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Ken Yukimura(Iwate University)

キーワード: ホローカソード放電|磁気閉じ込め|スパッタリング|グロー放電|パルスパワー|Hollow cathode discharge|Magnetic confinement|Sputtering|Glow Discharge|Pulsed power

要約(日本語): 磁場閉じ込めホローカソード(MFC-HC)大電力パルス放電特性のガス種依存性を調べた。窒素(N2)ガスまたはアルゴン(Ar)ガスを使用し，電気的特性およびイオン密度の投入電力依存性，圧力依存性を測定した。ターゲットにはチタン(Ti)を用いた。その結果，MFC-HC大電力パルス放電のイオン密度は，N2ガス使用時が1.5×1019 m-3，Arガス使用時が2.6×1019 m-3となった。また，N2ガス，Arガスの投入電力依存性と圧力依存性は同様の傾向を示すことがわかった。

要約(英語): Influence of gas species on electrical characteristics of magnetic field confined hollow cathode (MFC-HC) high-power pulsed discharge was investigated. The dependence of electrical characteristics and ion density on power input and gas pressure were measured in nitrogen (N2) or argon (Ar) gas atmosphere. The sputter target was titanium (Ti). The experimental results showed that the ion density of the MFC-HC high-power pulsed discharge was 1.5×1019 m-3 at N2 gas atmosphere, and 2.6×1019 m-3 at Ar gas atmosphere. The dependences of input power and gas pressure on the discharge characteristics at N2 gas and Ar gas atmosphere showed similar tendency to those at atmosphere.

本誌: 2021年5月20日-2021年5月21日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 93-98 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,137 Kバイト