Zn-O2-Ar混合プラズマの発光分析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP21056

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2021/05/17

タイトル(英語): Optical emission spectroscopy in Zn-O2-Ar mixture plasmas

著者名: 米村 海翔(茨城大学 ),佐藤 直幸(茨城大学)

著者名(英語): kaito Yonemura( Ibaraki University),Naoyuki Sato( Ibaraki University)

キーワード: ＺｎＯ分子|Ｚｎ－Ｏ２－Ａｒ混合ＩＣＰ|移動度|ＬＲ－ＯＥＳ|ＨＲ－ＯＥＳ|透明導電膜|ZnO molecule|Zn-O2-Ar mixture ICP|LR-OES|HR-OES|transparent conductive film|mobility

要約(日本語): Zn-O2混合プラズマではZnO透明導電膜の移動度に大きく影響するZnO分子が存在するかもしれない．この仮説を確証する手段の一つとして，O2ガスを減らしてゆきゼロにしたZn-Arの２元混合プラズマでは，予期しているZnO分子に帰属する波長でOES信号が観測されないことを示せばよい．今回は，これに関する実験結果を報告する．

要約(英語): Zn-O2 mixed plasmazized ZnO We have determined that there are ZnO molecules that are considered to have transparent mobility. It can be her thing to confirm this high price, and it is only necessary to do that the binary mixed plasma of Table Zn-Ar arrives at zero with O2 gas and is lost to 2ZNO molecules, and the OES signal is not observed.

本誌: 2021年5月20日-2021年5月21日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 121-126 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,564 Kバイト