1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21047

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2021/07/23

タイトル(英語): A study of multi-physics simulation for a single-axis differential CMOS-MEMS accelerometer

著者名: 柴田 滉平(東京工業大学),内山 晃宏(東京工業大学),大西 哲(東京工業大学),李 尚曄(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学)

著者名(英語): Kohei Shibata(Tokyo Institute of Technology),Akihiro Uchiyama(Tokyo Institute of Technology),Akira Onishi(Tokyo Institute of Technology),Sangyeop Lee(Tokyo Institute of Technology),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technology),Katsuyuki Machida(Tokyo Ins

キーワード: ＭＥＭＳ|加速度センサ|統合設計|ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ|フィードバック|Ｖｅｒｉｌｏｇ－ａ|MEMS|accelerometer|multi-physics|CMOS-MEMS|feedback|Verilog-a

要約(日本語): 我々は、高感度な静電容量型MEMS(Microelectromechanical systems)加速度センサを検討している。本研究では、1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのフィードバック制御を検討するため、CMOSとMEMSを同時にシミュレーション可能な統合設計に向けた差動型MEMS加速度センサのモデルを提案する。本提案モデルにより差動型CMOS-MEMSのシミュレーションが可能であることを確認した。

要約(英語): This paper describes a MEMS equivalent circuit model for multi-physics simulation with a single-axis differential CMOS-MEMS accelerometer. We have developed highly sensitive capacitive MEMS accelerometers. In order to build in the feedback control system of a single-axis differential CMOS-MEMS accelerometer, we propose the MEMS equivalent circuit model for multi-physics simulation which can simultaneously simulate behaviors of both CMOS and MEMS. The simulation results show that the proposed model can simulate the differential CMOS-MEMS accelerometer.

本誌: 2021年7月26日－2021年7月27日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 1-5 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,374 Kバイト