MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2021/07/23

タイトル(英語): Implementation and Evaluation of Calibration Processing Method for MEMS Tactile Sensor

著者名: 河内 彪博(立命館大学),安藤 潤人(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学),野間 春生(立命館大学)

著者名(英語): Takehiro Kawauchi(Ritsumeikan University),Mitsuhito Ando(Ritsumeikan University),Masayuki Sohgawa(Niigata University),Haruo Noma(Ritsumeikan University)

キーワード: 触覚センサ|ＭＥＭＳ|校正処理|Tactile Sensor|MEMS|Calibration Process

要約(日本語): MEMS触覚センサは外力が与えられた際に、力の変化に応じた電圧値を出力する。この電圧値は力を直接表すものではなくセンサ内の3つのカンチレバーの変形量によるものである。そのためセンサ出力を力に変換する校正処理が必要になる。本稿では力変換の際の微分方程式を解くために、複数回の独立方向の力を計測したデータを使用し校正マトリクスを導出する方法を提案した。さらに校正マトリクスを用いた校正処理の効果の評価を行った。

要約(英語): Our MEMS tactile sensor outputs set of the voltage value corresponding to the force applied. These values do not directly represent the force. Therefore, a calibration process to convert the sensor output into force is necessary. In this paper, we proposed calibration matrix to solve the differential equation for force conversion.

本誌: 2021年7月26日－2021年7月27日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 13-16 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,271 Kバイト