マイクロスケールのアンカー効果によるポリマーMEMS材料の接合強度への影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21041

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2021/07/23

タイトル(英語): Influence of Microscale Anchor Effect on Bond Strength of Polymer MEMS Materials

著者名: 丸山 博史(群馬大学),青木 将也(群馬大学),鈴木 孝明(群馬大学)

著者名(英語): Hiroshi Maruyama(Gunma University),Syouya Aoki(Gunma University),Takaaki Suzuki(Gunma University)

キーワード: アンカー効果|ポリマーＭＥＭＳ|接合強度|フォトリソグラフィ|マイクロ構造|樹脂材料接合|Anchor Effect|Polymer-MEMS| Bond strength|Photolithography|Microstructure|Polymer material joining

要約(日本語): ポリマーMEMS材料の接合について、凹凸のはめ合いによって発生するアンカー効果について検討した。フォトリソグラフィによってレジスト表面にマイクロ構造を形成し、構造表面に流し込んだ液状PDMSを硬化させることで、二つの樹脂材料界面に突起と穴の組み合わさった食い込みができる。接合面のせん断方向の引張強度を評価した。

要約(英語): In the polymer MEMS, the anchoring effect using the microstructure of the material interface was evaluated from measuring the bond strength between the polymer materials. A physical microanchor structures at the interface were fabricated by curing the liquid PDMS poured onto the surface of the microstructures made by photolithography.

本誌: 2021年7月26日－2021年7月27日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 29-31 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 830 Kバイト