低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21044

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2021/07/23

タイトル(英語): Improvement of Durability of Insulation Film for Low-voltage Electrostatic Tactile Display

著者名: 近藤 雅敏(新潟大学),佐藤 淳喜(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Masatoshi Kondo(Niigata University),Junki Satoh(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|静電気力|摩擦力制御|ポリイミド|Tactile Display|Electrostatic Force|Friction Control|Polyimide

要約(日本語): 我々はこれまで、フッ素樹脂(Cytop)を絶縁膜とした静電型触覚ディスプレイにより、100V以下の低電圧で静電引力により摩擦力変化を提示できることを示した。しかし、電気的・機械的耐久性の面で課題がある。そこで本研究では、より絶縁破壊電圧や機械的強度の高いポリイミド薄膜を絶縁膜としたデバイスを試作・評価した。その結果、従来よりも高い電圧でも絶縁破壊が起きず、さらに接触動作に対する耐久性を向上できた。

要約(英語): In our previous work, it has been shown that an electrostatic tactile display using fluoropolymer (Cytop) as an insulating film can present changes in friction by electrostatic force at less than 100 V. However, there are some issues in terms of electrical and mechanical durability. In this study, a device using a polyimide film as the insulating film, which has higher breakdown voltage and mechanical strength was fabricated and characterized. As a result, it is shown that no dielectric breakdown occur even at higher voltages and the durability against contact operation can be improved.

本誌: 2021年7月26日－2021年7月27日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 41-46 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,052 Kバイト