光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS21052,BMS21037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2021/08/03

タイトル(英語): Room temperature ethanol gas detection by optical interferometric MEMS surface stress sensor

著者名: 阪上 天斗(豊橋技術科学大学),高橋 利昌(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),髙橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): TAKATO SAKAGAMI(Toyohashi University of Technology),TOSHIAKI TAKAHASHI(Toyohashi University of Technology),YONG-JOON CHOI(Toyohashi University of Technology),KAZUAKI SAWADA(Toyohashi University of Technology),KAZUHIRO TAKAHASHI(Toyohashi University of Tec

キーワード: ファブリペロー干渉|微小電気機械システム|表面応力センサ|揮発性有機化合物（ＶＯＣｓ）|化学センシング|エタノール|Fabry-Perot interference|Microelectromechanical systems|Surface stress sensor|Volatile organic compounds (VOCs)|Chemical sensing|Ethanol

要約(日本語): 呼気診断による非侵襲計測は患者の負担が少なく、有望な検査方法として注目されている。本研究では、揮発したエタノールを室温で高感度検出可能な光干渉型MEMS表面応力センサを開発した。開発したセンサを用いたエタノールガス検出実験では、7?110 ppmの濃度で線形応答を示し、低濃度領域では安定した応答が得られた。加えて、干渉計可動膜を最適化することで、サブppmでのエタノールガスの検出可能性が示唆された。

要約(英語): We developed an optical interferometric surface stress sensor that can detect volatilized_x000D_ ethanol with high sensitivity at room temperature. In the ethanol gas detection, a linear_x000D_ response was obtained at a concentration of 7?110 ppm, and a stable response was_x000D_ obtained in the low concentration region._x000D_

本誌: 2021年8月6日バイオ・マイクロシステム/マイクロマシン・センサシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 15-19 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,997 Kバイト