圧電アクチュエータによって駆動されるステージの適応ロバストスライディングモード制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC21001

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2021/09/04

タイトル(英語): Adaptive Robust Sliding Mode Control for the Stage Driven by Piezoelectric Actuator

著者名: 邱 旭(芝浦工業大学),陳 新開(芝浦工業大学)

著者名(英語): XU QIU(Shibaura Institute of Technology),XINKAI CHEN(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: マイクロポジショニングシステム|圧電アクチュエータ|非線形ヒステリシス特性|位置決め装置|適応ロバスト制御|スライディングモード|Micropositioning system|Piezoelectric actuators|nonlinear hysteresis|Positioning control|adaptive robust control|Sliding Mode

要約(日本語): 圧電アクチュエータによって駆動されるステージは現在，産業用の精密位置決め装置などに使用されている.ただし、圧電アクチュエータに利用されている圧電素子は非線形ヒステリシス特性をもつため，高精度の制御を行う場合，精度の低下を起こす問題が生じる．本研究では，このヒステリシス特性を未知の外乱として扱い、圧電アクチュエータによって駆動されるステージの適応ロバストスライディングモード制御則を提案する。

要約(英語): With the developments of high precision industries, the requirement of a micro/nano positioning system is more and more compulsory. Piezoelectric actuators have been widely adopted because of its nanometer positioning resolution, high stiffness, fast response, etc. However, it is difficult to control because of the nonlinear hysteresis phenomenon existing in the relation between the input voltage and the displacement. To overcome this problem, this thesis explores the Adaptive Robust Sliding Mode Control for the Stage Driven by Piezoelectric Actuator.

本誌: 2021年9月7日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ: 1-6 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,069 Kバイト